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江阴某半导体企业应用超纯水设备项目

编辑:云端端发表时间:2022-02-10

  在集成电路、分立器件和其他半导体产品中,半导体材料是半导体产业链上游环节的重要组成部分,起着关键作用。目前全球的半导体产业链正向中国大陆转移,中国晶圆厂扩产的步伐已逐渐加快。随着国内晶圆厂的投产,对半导体材料的需求也将增加,市场的需求空间已被打开,因半导体元件集成度高,生产线狭窄,对水质的要求特别高,超纯水成为电子工业用水的“标配”。

  江阴某半导体企业应用超纯水设备项目

  项目工艺

  自来水进入原水箱,经过原水泵增压,经过砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、保安过滤器,到达反渗透单元,经两级反渗透过滤,进入EDI单元,达到电阻率15MΩ·cm(25℃)进入纯水水箱。纯水供水设计为循环方式,经纯水供水泵增压,通过紫外线消毒器、抛光混床接入纯水供水管,到达使用点。

  莱特莱德超纯水设备设计原则

  1、根据进、出水要求,选择成熟可靠、高效节能、占地少、经济实用的处理工艺,保证处理效果,减少工程投资和日常费用。

  2、工艺流程简洁通畅,整体布置简洁、合理、美观符合厂区的统一规划,要求水处理设施布局与周围环境协调,不对周围环境造成二次污染。

  3、管道布局合理,充分利用现有设置和现有地形条件。整体施工期短、安装方便、便于管理。安全措施得当,避免隐患。

  4、通过对各功能模块进行优化组合,以确保整个系统的高性能和高品质,使产品水完全达到或优于用水水质标准。

  莱特莱德超纯水设备中水箱均设有液位控制系统、水泵配有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电器采用PLC可编程序控制器,实际实现了无人操作,同时在工艺选材方面采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备同其他同类产品相比,有较高的性价比。

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